微粒子计数仪

TSI (美国制)

无尘室微粒子量测

• 完全符合ISO 21501-4要求
• 以太网，USB输出
• 简易图标触摸屏操作 5.7"
• 即可单独使用， 也可与整套监测系统兼容

环境空气微粒子监测

TSI (美国制)

有效的自动厂务监测系统: FMS (Facility Monitoring Software) 在无尘室提供有效实时的监测，如微粒子(空气、洁净气体)，温湿度、气流、压差及静电(ESD)或是接地。监控软件提供时间平面图，实时变化表，历史数据图，厂房平面图等功能，透过此系统你可得到：

• 提早发现问题：
  甚至在洁净是技术不够好，还有很多因素会影 响生产产量，如操作员的误动作，微粒子产生 在机器内，HEPA/ULPA穿透，静电吸附微粒 子、滤网装配错误，等等。
• 掌握更多资料：
  洁净是从便携式测量粒子的片段数据量测是不 够的。只有连续数据基础从FMS可以提供足够 的信息来帮助你做出正确的决定在洁净室管理。