微粒子計數儀

TSI (美國製)

無塵室微粒子量測

• 完全符合ISO 21501-4要求
• 乙太網，USB輸出
• 簡易圖標觸摸屏操作 5.7"
• 即可單獨使用， 也可與整套監測系統兼容

環境空氣微粒子監測

TSI (美國製)

有效的自動廠務監測系統: FMS (Facility Monitoring Software) 在無塵室提供有效實時的監測，如微粒子(空氣、潔淨氣體)，溫濕度、氣流、壓差及靜電(ESD)或是接地。監控軟件提供時間平面圖，實時變化表，歷史數據圖，廠房平面圖等功能，透過此系統你可得到：

• 提早發現問題：
  甚至在潔淨是技術不夠好，還有很多因素會影 響生產產量，如操作員的誤動作，微粒子產生 在機器內，HEPA/ULPA穿透，靜電吸附微粒 子、濾網裝配錯誤，等等。
• 掌握更多資料：
  潔淨是從便攜式測量粒子的片段數據量測是不 夠的。只有連續數據基礎從FMS可以提供足夠 的信息來幫助你做出正確的決定在潔淨室管理。