|
|
| 半导体，平面显示器产业生产设备製程配套元件清洗 | |
 製 程 :
|
蚀刻 / 薄膜 / 扩散 / 黄光 |
|
设 备 :
|
AMAT / TEL / LAM / ANELVA / Novellus / Mattson / Shimadzu / Centrotherm / Roth & Rau / Oerlikon / Applied Film |
|
基 板 材 質 :
|
铝 / 不鏽钢 / 钛 / 石英 / 陶瓷 |
|
製程附著物 :
|
氧化物 / 聚合物 / 金属 / 铝 / 铜 / 钛 / 氮化物.. |
 |
 |
 |
 |
|
 |
|
 |
 |
 |
 |
