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| 半導體，平面顯示器產業生產設備製程配套元件清洗 | |
 製 程 :
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蝕刻 / 薄膜 / 擴散 / 黃光 |
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設 備 :
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AMAT / TEL / LAM / ANELVA / Novellus / Mattson / Shimadzu / Centrotherm / Roth & Rau / Oerlikon / Applied Film |
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基 板 材 質 :
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鋁 / 不鏽鋼 / 鈦 / 石英 / 陶瓷 |
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製程附著物 :
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氧化物 / 聚合物 / 金屬 / 鋁 / 銅 / 鈦 / 氮化物.. |
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